エキシマレーザ『ExciStar』広範なUVアプリケーションにコヒレント・ジャパン

熱影響の少ない精密微細加工用途に！IndyStar／LEAP／LABDA SX／VYPERもご用意

『ExciStar』は、紫外領域において、高エネルギーでの発振が可能な
ガスレーザです。

熱影響の少ない精密微細加工用途に使用可能。医療分野やパルスレーザ
蒸着(PLD)システムなどの理科学分野にも多数採用されています。

この他「IndyStar」「LEAP」「LABDA SX」「VYPER」もご用意しており、
用途や予算に応じて、適したモデルをお選びいただけます。

【特長】
■紫外領域において、高エネルギーでの発振が可能
■熱影響の少ない精密微細加工用途に用いられる
■医療(レーシックなどの視力矯正手術用)分野やパルスレーザ蒸着(PLD)
　システムなどの理科学分野にも多数採用
■用途に応じラインビーム光学系などのオプションを取り揃えている

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.coherent.com/ja/lasers/excimer

基本情報エキシマレーザ『ExciStar』広範なUVアプリケーションに

【製品情報】
■ExciStar：193nm／5mJ、 248nm／10mJ @ 0.2-1kHz
■IndyStar：193nm 4-8mJ、 248nm 6-12mJ @1-2kHz
■COMPex：193nm／400uJ、248nm／750mJ、308nm／500mJ、351nm／300mJ @10-100Hz
■LEAP：193nm／400mJ、 248nm／1000mJ、 308nm／1000mJ @100-300Hz
■LAMBDA SX：308nm 1000mJ @500-600Hz
■VYPER Series：308nm／2000mJ 、 4000mJ、 6000mJ

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