1台で シロキサン・オゾン 2種類の汚染物質除去
■1台で2種類の汚染物質除去
活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去
■高圧・大流量対応可能
圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能
■高い除去率
99％以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能
■省スペース
当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現
基本情報CKD シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ライン・システムのクリーンエア化 ＞電子部品・光学部品製造ライン ＞半導体製造システム ＞二次電池製造システム などおすすめ |
カタログCKD シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」
取扱企業CKD シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」
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