昨今の製造ニーズにお応え！低コストで高精度なウェットバス監視分析計
『TALYS ADP300シリーズ』は、ウェットエッチング、クリーニング、
またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、または
シングルウエハツールの監視に適したデュアルチャンネル分析システムです。
リアルタイムでの薬液濃度監視によって、オペレータおよび技術者による
化学物質の使用量を低減。
製造条件からの逸脱頻度を抑えることを可能にします。
【特長】
■分析計の専門的な知識が無くても使用可能
■24時間365日稼働し、分析計上のモニタにデータを表示
■運転中に試薬を必要としないため、ランニングコストの大幅な削減に貢献
■チューブの変更不要でコンタミネーションのリスクを回避
■分析計の電子構成ファイルをメールからアップロードすることで、
追加の薬液バスの監視が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ウェットバス監視分析計『TALYS ADP300シリーズ』
【その他特長】
■2つのサンプルポイントで複数のバス中の化学物質濃度を同時監視
■分析計は所定の位置に固定され、内部コンポーネントに簡単にアクセス可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログウェットバス監視分析計『TALYS ADP300シリーズ』
取扱企業ウェットバス監視分析計『TALYS ADP300シリーズ』
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