株式会社日本エイピーアイ APIゲッター精製器
- 最終更新日:2023-05-24 15:05:37.0
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小型で持ち運びが簡便!当社独自のハイパー処理により、有機物、水分のアウトガスを徹底排除します
日本エイピーアイの取り扱う『APIゲッター精製器』についてご紹介します。
1ppbレベルで供給されているガスも、複雑な配管経路を経由して
ユースポイントまで到達する時点では、数10ppb(10^-9)~ppm(10^-6)レベルの
不純物が含まれている場合があります。
この不純物を当製品のご使用により、ppt(10^-12)レベルまで低減することが
可能です。
【特長】
■小型で持ち運びが簡便
■高性能ゲッター材で不純物をPPTレベルまで低減
■当社独自のハイパー処理により、有機物、水分のアウトガスを徹底排除
■APIMSガス分析装置による検査実施
■ステンレス製ケースで発塵を防止
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報APIゲッター精製器
【仕様】
<AG-100-N2,Ar,He(3機種)>
■供給ガス:N2,Ar,He よりガス種を指定
■供給圧力:0.1~0.6 MPa
■許容流量:1~3L/min
■除去不純物:H2O,O2,CO2,CH4,有機物全般
■除去性能:1ppb以下(APIMSにて検査実施)
■寸法:W185×D155×H455 mm
■電源:AC100V 10A
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価格帯 | お問い合わせください |
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