極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測！全レンジ50kPaの高耐圧を実現したセンサ
半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の
用途事例をご紹介します。
極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの
高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。
微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応します。
【空気調和システム圧力計測分野】
■ドライエアー
■N2ガス
■排ガス
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基本情報半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜空気調和システム＞
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取扱企業半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜空気調和システム＞
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