株式会社フジキン『センシェントバルブ』IoTバルブフジキン(Fujikin Incorporated)

バルブの開閉をセンシングします！

センサによりバルブの外部へのリークを検知。
またバルブの開閉や温度を正確に検知することが可能になりました。

バルブに不具合が起こる前に
劣化部品の交換時期を知ることが出来るため、
装置の長期信頼性を向上させることが出来ます。

※詳細はお問い合わせください。

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基本情報株式会社フジキン『センシェントバルブ』IoTバルブ

■半導体製造装置用　超小型IoTバルブ
超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、
超小型IGS（集積化ガス供給システム）にてIoT化を実現し、
正確な開閉検知が可能になりました。
・耐久性：400万回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃
※2022年第19回超モノづくり部品大賞機械・ロボット部品賞受賞製品！

■高耐久IoTバルブ
高耐久バルブにセンサを搭載することで、
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：1億回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃

■高温・高耐久IoTバルブ
高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：3,000万回（実験値）
・使用温度：-10～＋150℃

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カタログ株式会社フジキン『センシェントバルブ』IoTバルブ

センシェントバルブ【IoTバルブ】

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取扱企業株式会社フジキン『センシェントバルブ』IoTバルブ

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞日本が世界に誇る半導体技術。超微量のガスを正確にコントロールし、極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで生産されます。組立・検査などの工程もすべてウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。また、1992年夏に打ち上げられたわが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。