株式会社FKDファクトリ 卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』
- 最終更新日：2023-12-06 16:24:04.0
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初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレードアップ
『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の
卓上型マグネトロンスパッタ装置です。
基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで
構成される金属薄膜用スパッタ。
RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの
拡張オプションにより、研究ステージに合せて
グレードアップしていただくことが可能です。
【特長】
■初期導入コストを抑え、後の拡張で高性能化が可能
■基本仕様でアルゴン用MFCを備えており、ガス流量を精密に制御
■成膜方向は試料へのゴミ付着を防止するためにデポアップを採用
■卓上タイプながら真空シール性の高いSUSチャンバを採用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』
【仕様】
＜FDS-1C-160R Sputtering System＞
■スパッタ電源：DC500V/0.8A
■カソード：φ2インチ/マグネトロンカソード
■適用ターゲット：Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc.
■真空排気系：ロータリーポンプ 162L/min
■真空計：ピラニゲージ
■ガス流量調整：アルゴン用MFC 20sccm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途・実績】 ■電子デバイス/固体ナノ構造デバイス/各種センサ/各種電池の開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』
取扱企業卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』
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■受託微細加工のコーディネート ■理化学機器・実験用材料の提案、販売 ■卓上型実験装置の開発、製作、販売 ■カラープリンタレンタルサービス
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