向かい合う2面の平行度を高精度に同時測定
Smart LAC H410/H420シリーズのアクセサリに新たに対向ビーム分岐アダプタHT-20Tを追加ラインアップしました。向かい合う2面の平行度を高精度に同時測定できるとっておきのアイテムです。
従来の困り事
・1面ずつ測定すると狙いの精度が出ない
・測定器2台分のコストと調整工数が負担
・測定器2台分の設置空間が大きくなってしまう
これらの困り事を解決できます。
Smart LAC H410/H420シリーズのどちらにも取付できて、これ1つで2面の平行度を同時測定できます。
基本情報対向ビーム分岐アダプタ
■ 対象製品
・ HT-20T
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【使用例】 ウェハ、チップ、精密部品、撮像素子等の高精細化に伴う精密アライメント |
カタログ対向ビーム分岐アダプタ
取扱企業対向ビーム分岐アダプタ
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