加熱された基板を冷却します
『多段乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側)
により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。
冷却バッファー基盤供給と搬出を行うローダー・アンローダー移載用
ロボットにより構成されています。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【仕様】
■温度性能：室温～150度(ガラス表面温度)
■温度精度：表面温度±5度以内
■方式：マイカヒーター・分割制御
■ヒーター出力：AC200V 1φ 1.5kw
■熱量：5.39mj
■圧縮空気：0.5Mpa 100L/min
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基本情報多段乾燥機
【用途】
■半導体装置関連、FPD装置関連
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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