メルコジャパン株式会社 精密洗浄
- 最終更新日:2024-04-18 17:33:41.0
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精密洗浄を大型製品に適用する大型チャンバー精密洗浄プロセスも開発!
メルコジャパン株式会社の精密洗浄部門について、ご紹介いたします。
液晶パネルや半導体チップの製造工程に使われる真空容器など関連装置の
高精度化に伴い、これら装置部品の不純物を確実に除去する精密洗浄が
求められる現状。
当社では、常に徹底した精密洗浄を施してお客様に納品しています。
【大型チャンバー精密洗浄プロセス】
■1.純水を90℃の高温にしてチャンバーを1時間から2時間、洗浄槽内に浸漬け投入
■2.チャンバーの温度が90℃に行き渡ったところで引き上げ
■3.瞬時に起きる蒸発作用で急速乾燥
■4.ネジ山、溶接の穴から酸を除去し、表面を撹拌し精密洗浄
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基本情報精密洗浄
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