株式会社アークステーション AMCモニタリング装置『SAM-S』
- 最終更新日：2024-05-24 09:25:07.0
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1台のシステムで最大3種類のガス(NH3、HF、HCI)を監視することが可能！
『SAM-S』は、空洞リングダウン分光(CRDS)分析装置を
高性能サンプリングシステムに統合したAMCモニタリング装置です。
高流量のガス流量を可能にし、クロスポートの汚染を最小限に抑え、
正確なAMC濃度を迅速に報告。
また、最大16の異なる場所をサンプリングできるように構成することができ、
PicarroのSI3401ガス・アナライザーと組み合わせて、アンモニア(NH3)、
フッ化水素(HF)、塩化水素(HCl)を測定することができます。
【特長】
■インラインAMC監視システム
■pptレベルでのNH3、HF、HClの測定
■秒オーダーの応答時間
■最小限のセットアップ時間
■クリーンルーム内の複数の場所を監視
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報AMCモニタリング装置『SAM-S』
【その他の特長】
■キーボードを内蔵した産業用コンピュータを搭載
■セキュアなソフトウェアと通信
■プログラムされたクリーニングサイクル
■クロスポート汚染を最小限に抑えるための定期的なポートパージ
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カタログAMCモニタリング装置『SAM-S』
取扱企業AMCモニタリング装置『SAM-S』
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各種産業機器や半導体製造における前工程、後工程、実装工程等の検査・分析装置に従事した経験豊富なエンジニアが在籍しており、テクニカルサポートに注力したエンジニア専門会社として発足致しました。また、今期より、装置販売事業にも注力致します。
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