山里産業株式会社 半導体装置専用温度計『Photrix』

真空装置にも対応可能!メンテナンスフリーで容易に温度計測ができます

『Photrix』は、石英やサファイアを使用したライトパイプを
使用することで、真空装置内の対象物近傍に設置し、温度計測が可能な
半導体装置専用温度計です。

通常の窓ガラス越しでは窓ガラスのメンテナンスの必要がありますが、
本製品のライトパイプ型はメンテナンスフリーで容易に温度計測が可能です。

また窓ガラス越しファイバー式放射温度計も対応します。

【特長】
■ライトパイプ型はメンテナンスフリーで容易に温度計測が可能
■窓ガラス越しファイバー式放射温度計も対応

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基本情報半導体装置専用温度計『Photrix』

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取扱企業半導体装置専用温度計『Photrix』

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山里産業株式会社 高槻工場

1)温度センサ、熱電対、測温抵抗体の製造及び販売 2)温度校正業務(JCSS認定事業者0037) 3)マイクロヒータの製造及び販売 4)金属定点実現炉の製造及び販売 5)金属定点セルの製造及び販売 6)温度バリデーションシステムの製造及び販売 7)海外校正装置メーカISOTECH及びMeasurement International社販売代理店 8)溶銅中O2プローブの製造及び販売

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