真空装置にも対応可能!メンテナンスフリーで容易に温度計測ができます
『Photrix』は、石英やサファイアを使用したライトパイプを
使用することで、真空装置内の対象物近傍に設置し、温度計測が可能な
半導体装置専用温度計です。
通常の窓ガラス越しでは窓ガラスのメンテナンスの必要がありますが、
本製品のライトパイプ型はメンテナンスフリーで容易に温度計測が可能です。
また窓ガラス越しファイバー式放射温度計も対応します。
【特長】
■ライトパイプ型はメンテナンスフリーで容易に温度計測が可能
■窓ガラス越しファイバー式放射温度計も対応
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基本情報半導体装置専用温度計『Photrix』
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取扱企業半導体装置専用温度計『Photrix』
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