ALIO Industries　XYステージオーテックス

True nano Tech 薄型高剛性ステージ

ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステージシステム。
従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージ。

関連リンク - http://www.autex-inc.co.jp/waveplates.html

基本情報ALIO Industries　XYステージ

■3枚板の薄型高剛性デザイン
中板の両面に高精度クロスローラーを直交させることにより、薄型デザインで高精度、高剛性を実現。ストロークは問わず、±30nmの繰り返し精度を次世代規格6D Point Precisionで実現。

■Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード
多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。

■高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。

■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

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カタログALIO Industries　XYステージ

ALIO Industries　ヘキサポッドステージ

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取扱企業ALIO Industries　XYステージ

オーテックス株式会社

■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務