真空中の動力源！装置の小型化・コストダウンに貢献
当社で取り扱う「ステッピングモーター 真空タイプ」をご紹介いたします。
半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、
さまざまな用途に多数採用されており、多軸ステージの設計も可能。
真空チャンバー内にモーターを設置できるため、回転導入機などを使用せず、
装置を小型化できます。
【特長】
■さまざまな動きを実現
■装置の小型化・コストダウンに貢献
■真空チャンバー内の汚染防止を考慮した設計
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基本情報ステッピングモーター 真空タイプ
【ラインアップ】
■αSTEP ARシリーズ
■5相ステッピングモーター PKシリーズ
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
取扱企業ステッピングモーター 真空タイプ
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