株式会社東レリサーチセンター 技術情報誌 202305-02 加熱in-situ TEM

基本情報技術情報誌 202305-02 加熱in-situ TEM

技術情報誌The TRC News「加熱in-situ TEMを用いた半導体材料のその場観察」
【要旨】
半導体デバイスの開発・製造において、熱処理工程における材料の構造変化を把握することは非常に重要である。加熱in-situ TEMを用いることにより、熱処理中の材料の熱挙動をnmレベルで可視化し、構造変化に関する新たな知見を得て、膜質制御などプロセス開発に役立てることが可能となる。本稿では、加熱in-situ TEMを用いて、(1)結晶構造解析を併用したアモルファスシリコン膜の結晶成長メカニズム解析、(2)元素分析を併用した金属積層膜の熱挙動把握、(3)平面での薄膜ルテニウム膜の結晶成長過程の観察を行った事例を紹介する。
【目次】
１. はじめに
２. 加熱in-situ TEMの概要と特長
３. 加熱in-situ TEMの解析事例
４. まとめ
【図表】
図1～図8　TEM像、SEM像、結晶方位解析など　示す

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