株式会社東レリサーチセンター 技術情報誌 202401-02 フォトレジスト中の金属粒子分析

基本情報技術情報誌 202401-02 フォトレジスト中の金属粒子分析

技術情報誌The TRC News「spICP-MSを用いたフォトレジスト中の金属粒子分析」
【要旨】
Single Particle ICP-MS(以下、spICP-MS)は、ICP-MSの高い感度と元素選択性を活かして特定の金属を含む微小かつ微量の粒子を検出し、その濃度および粒径分布を取得できる手法である。ここでは、spICP-MSの原理、およびフォトレジスト中の金属粒子を測定した事例を紹介する。
【目次】
１. はじめに
２. spICP-MSの原理と特徴
３. 有機溶媒直接導入法
４. フォトレジスト中のAl, Fe, Cu粒子分析
５. まとめ
【図表】
図1　ICP-MSで検出される信号のイメージ
表1　ICP-MSで測定したCu, Fe, Alの濃度
図2　PGMEA中のAl, Fe, Cu粒子のspICP-MS測定結果
図3　フォトレジスト中のAl, Fe, Cu粒子のspICP-MS測定結果

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