真空センサ『730シリーズ』エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した
セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、
リニアな直流電圧信号に変換し出力します。

温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、
太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で
重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。

【特長】
■極めて低いノイズ影響
■接ガス部にインコネルを採用
■CEマーク対応／RoHS準拠
■接続継手の選択が可能

※『730シリーズ』のカタログはPDFダウンロードよりすぐにご確認いただけます。
　そのほかご不明点はお気軽にお問合せください。

特設サイト

基本情報真空センサ『730シリーズ』

【仕様】
◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa
◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション)
◎補償温度：0～50℃
◎使用電源：DC12～30V
◎長期安定性：±0.5％FS／年
◎応答性：20msec
◎過負荷耐圧：300kPa

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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型番・ブランド名	７３０シリーズ
用途／実績例	【対象業界・用途】 ●各種半導体産業 ●エッチング装置 ●チラー ●レーザー装置 ●オートクレープ ●フリーズドライ