真空センサ『730シリーズ』エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した
セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、
リニアな直流電圧信号に変換し出力します。

温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、
太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で
重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。

【特長】
■極めて低いノイズ影響
■接ガス部にインコネルを採用
■CEマーク対応／RoHS準拠
■接続継手の選択が可能

※『730シリーズ』のカタログはPDFダウンロードよりすぐにご確認いただけます。
　そのほかご不明点はお気軽にお問合せください。

特設サイト

基本情報真空センサ『730シリーズ』

【仕様】
◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa
◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション)
◎補償温度：0～50℃
◎使用電源：DC12～30V
◎長期安定性：±0.5％FS／年
◎応答性：20msec
◎過負荷耐圧：300kPa

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	７３０シリーズ
用途／実績例	【対象業界・用途】 ●各種半導体産業 ●エッチング装置 ●チラー ●レーザー装置 ●オートクレープ ●フリーズドライ

カタログ真空センサ『730シリーズ』

取扱企業真空センサ『730シリーズ』

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社では、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な要素の圧力と流量をテーマに、事業を展開しております。特に圧力の測定においては、米国セトラシステムズ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内の産業界に供給しております。セトラシステムズ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、ゲージ圧・真空圧・差圧・連成圧・気圧のいろいろな測定モードに対応して、幅広い製品が、さまざまな用途に用意されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもＢＤ社、ニッチセンサ社などの製品も扱っています。流量計測センサメーカはエクフロー社、ディグメサ社、マクミラン社の製品などを扱っています。弊社では、これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計（マノエースシリーズ）の製造もおこなっています。社内には、産業技術総合研究所の国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、高精度の検査を社内にて行うことができます。【営業内容】工業計測機器の輸入・製造・販売