マクミラン　テフロン製　液体用流量センサ　１０６Ｆエア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続は１．８ｍのケーブルが付属し電源や出力は用途により選択できます。

基本情報マクミラン　テフロン製　液体用流量センサ　１０６Ｆ

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型番・ブランド名	モデル　１０６Ｆ
用途／実績例	接液部材質　テフロン　カルレッツ　サファイヤに適合する液体。 ○フッ酸やその他、酸ラインの測定 ○ＣＭＰスラリーラインの測定 ○純水の測定 ○現像液の測定 ○ほとんど全ての低粘度液体の測定　など