セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズエア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。

基本情報セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

デッドスペースが１．８ｍＬと小さくパージが容易に行えます。
接ガス部はＳＵＳ３１６ＬのＶＡＲ材を０．１８Ｒａの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。
スライド式カバーになっておりゼロ、スパンの調整が容易に行えます。
わずかなダイヤフラムの変化の静電容量を検出し独自のチャージバランス原理を使用したカスタムＩＣにより高精度のリニアな直流電気信号に変換します。
電気接続は１．８ｍ多芯ケーブル又は４ピン差込コネクタが用意されています。

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型番・ブランド名	２２５シリーズ
用途／実績例	用途・特徴 ○特殊ガス、高純度ガス供給システム ○ガスキャビネット ○エキシマレーザ供給設備 ○半導体プロセス ○圧力モードはゲージ圧、連成圧、絶対圧の３種類 ○ローコストで高精度 ○ＣＥマーク対応