蒲田工業株式会社 シリコンウェハ用圧力分布測定システム

歩留まりアップを圧力管理からサポート!

◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。

◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。

◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。

◆測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています(パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください)。

基本情報シリコンウェハ用圧力分布測定システム

◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。

◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。

◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。

◆測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています(パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください)。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
※45日
用途/実績例 ◆シリコンウェハ研磨押付圧力分布

◆CMP

取扱企業シリコンウェハ用圧力分布測定システム

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蒲田工業株式会社

製造業の大手企業を中心に「お客様のお困り事の解決」を中心に活動しています。 中でも当社の強みであるベルト加工、搬送システム、環境に関する事柄を中心になります。 ■クリーンルームの設計・製作・施工 ■クリーンブースの設計・製作・施工 ■工業用ゴム及び樹脂製品の加工・販売 ■省力機器類の設計・施工、設備の販売 ■気密検査用ワンタッチカプラーの設計・製作 ■表面処理・技術選定のコンサルティング

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