歩留まりアップを圧力管理からサポート!
◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。
◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。
◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。
◆測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています(パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください)。
基本情報シリコンウェハ用圧力分布測定システム
◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。
◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。
◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。
◆測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています(パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください)。
価格情報 | - |
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納期 |
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※45日 |
用途/実績例 | ◆シリコンウェハ研磨押付圧力分布 ◆CMP |
取扱企業シリコンウェハ用圧力分布測定システム
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