高真空の計測が可能なマイクロ真空計
新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。
数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー。
基本情報マイクロ真空計
MEMS技術加工により、シリコン基板から熱分離された薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱電対真空計です。
構造を工夫することによって低圧側の測定幅を広げてあるのが特長です。
また、約0.8mm角のChipなので微小空間の圧力測定が可能です。
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| 用途／実績例 | 微笑空間の真空度測定 真空封止を必要とするMEMSデバイスなどの信頼性評価 |
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