株式会社ヤマダコーポレーション ダイアフラムポンプ
- 最終更新日:2020-07-31 13:57:06.0
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ダイアフラムポンプ
【概要】
DP-Fi/□/Rシリーズは、特殊ラバーサスシールの反発を利用して樹脂の温度変化等によるタイロッドの緩みを軽減し、ワンピースダイアフラム・樹脂センターロッドなどノンメタル化を実現しました。さらに液剤出入り口をインサイドにすることでマニフォールドが必要なくなり、その分コンパクトになり薬液供給システムや薬液循環装置に最適です。また、バルブやシート、切替部などケーシングを分解せずに消耗品の取替えができます。(CMPスラリーには使用できません)
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基本情報ダイアフラムポンプ
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | DP-Fノンメタルシリーズ |
用途/実績例 | - |
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