株式会社ヤマダコーポレーション 『DP-Fノンメタルシリーズ』半導体産業用ダイアフラムポンプ
- 最終更新日:2020-07-31 15:10:33.0
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DP-Fノンメタルシリーズ:半導体産業用ダイアフラムポンプ
DP-Fノンメタルシリーズ:半導体産業用 エア切替ダイアフラムポンプ
【特徴】
■ダイアフラムをはじめポンプ本体の接液部も全て
フッ素樹脂(PTFE・PFA)を使用した樹脂タイプのポンプで、
強酸・強アルカリ液などに優れた耐食性を持つ
■ワンピースダイアフラム、樹脂センターロッドなどノンメタル化を実現
■標準でハードシールを採用していますので、温度変化のある環境や
CMPスラリー移送に最適
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基本情報『DP-Fノンメタルシリーズ』半導体産業用ダイアフラムポンプ
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価格情報 | - |
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型番・ブランド名 | DP-Fsシリーズ |
用途/実績例 | ※詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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