DP-Fノンメタル：ダイヤフラムポンプ"DP- FsEシリーズ" ヤマダコーポレーション

半導体産業用　電気切替ダイヤフラムポンプ　DP- FsEシリーズ

DP-Fノンメタルシリーズ：半導体産業用　
電気切替ダイヤフラムポンプ　DP- FsEシリーズ

【特徴】
■ダイアフラムをはじめポンプ本体の接液部も全て
フッ素樹脂（PTFE・PFA）を使用した樹脂タイプのポンプ
■強酸・強アルカリ液などに優れた耐食性を持つ
■温度変化のある環境やCMPスラリー移送に好適
■光ファイバー式ストロークセンサーを採用し、
防爆仕様の外部電子制御が可能

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基本情報DP-Fノンメタル：ダイヤフラムポンプ"DP- FsEシリーズ"

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型番・ブランド名	DP- FsEシリーズ
用途／実績例	【用途】 ■温度変化のある環境 ■CMPスラリー移送

カタログDP-Fノンメタル：ダイヤフラムポンプ"DP- FsEシリーズ"

株式会社ヤマダコーポレーション『会社案内』

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取扱企業DP-Fノンメタル：ダイヤフラムポンプ"DP- FsEシリーズ"

株式会社ヤマダコーポレーション

●空圧式、油圧式、電気駆動、その他の各種ポンプ及びこれらの関連機器類の製造、販売（ダイアフラムポンプ・ピストンポンプ等） ●気体、流体、粉体、粒体等の汲み出し、圧送、噴霧、吸引用各種ポンプ及びこれらの関連機器類の製造、販売 ●計量器及び電気式計測機器の製造、販売 ●各種洗浄機器の製造、販売 ●流体素子、流体式制御機器の製造、販売 ●自動車整備用機器及び排気・排煙浄化装置の製造、輸入並びに販売 ●医療用機器の製造、輸入並びに販売 ●前各号にかかわる機器類の据付、保守及び構築物の設計、施工の請負 ●前各号に付帯又は関連する一切の業務及び投資 etc