株式会社ヤマダコーポレーション DP-FノンメタルDP- FE/Dシリーズ(外部電子制御タイプ)
- 最終更新日:2020-07-31 15:25:08.0
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半導体産業用ダイヤフラムポンプ(外部電子制御タイプ)
DP-Fノンメタルシリーズ:半導体産業用
電気切替DP- FE/Dシリーズ(外部電子制御タイプ)
【特徴】
■半導体プロセス対応モデル
■ポンプに光ファイバー式ストロークセンサーを
内蔵したノンメタル・防爆モデル
■ダイアフラムのストロークエンドを近接センサが検知、
センサー信号を受けたコントローラがセンターエキゾースト型の
3ポジション5ポート電磁弁を制御することにより往復運動を行う
■作動が確実で低ストローク時でも安定した性能を発揮
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基本情報DP-FノンメタルDP- FE/Dシリーズ(外部電子制御タイプ)
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | DP- FE/Dシリーズ |
用途/実績例 | ※詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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