日本エム・ケー・エス株式会社 真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質(正常/異常)を判別するRGA装置です。
これまで、シリアルケーブルやLAN(イーサネット)で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。

使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics(診断)に新しい可能性を切り開きます。

【仕様】
◇マスレンジ: 1-100 / 1-200amu
◇分解能  : ≦10%valley(マスレンジ内の同じ高さのピーク間)

【特長】
○低価格&コンパクト1.9kg(コントローラ重量)
○簡単なインストールと、最少の保守メンテナンスでご利用できます。
○10Base-T のEthernetインターフェイスと組込型ウェブサーバーを内蔵し、
 ネット環境を利用したダイレクト操作を実現

※詳細は資料請求からお問い合わせください。

基本情報真空ガス四重極分析計

装置の真空の質(正常/異常)を判別するRGA装置です。
これまで、シリアルケーブルやLAN(イーサネット)で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。

使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics(診断)に新しい可能性を切り開きます。

【仕様】
◇マスレンジ: 1-100 / 1-200amu
◇分解能  : ≦10%valley(マスレンジ内の同じ高さのピーク間)

【特長】
○低価格&コンパクト1.9kg(コントローラ重量)
○簡単なインストールと、最少の保守メンテナンスでご利用できます。
○10Base-T のEthernetインターフェイスと組込型ウェブサーバーを内蔵し、
 ネット環境を利用したダイレクト操作を実現

※詳細は資料請求からお問い合わせください。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 e-Vision
用途/実績例 ○海外工場の管理や、出張不在中の本社工場の管理制御
○液晶、PV業界や、半導体の前処理工程の真空ガス管理
○研究所の真空チャンバー操作管理 
○勤務時間外トラブル対応 など

取扱企業真空ガス四重極分析計

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日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。 真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、RGA、プロセスモニター、FTIR、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、RF電源、DC電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。

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