長州産業株式会社 スパッタ装置

基本情報スパッタ装置

長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式「ミラートロンスパッタ装置」を提供しています。
低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の機能性膜が得られます。
有機EL分野では、トップエミッション構造における透明導電膜の形成、封止膜の形成に最適です。
有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の様々な分野において、
最適なプロセスを提供しています。
その他、平行平板方式、円筒方式のスパッタ装置も提供しています。

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詳細情報スパッタ装置

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取扱企業スパッタ装置

長州産業株式会社

○エネルギー機器事業 　・太陽光発電システム 　・蓄電システム 　・エネルギーマネジメントシステム ○真空・メカトロ機器事業 　・蒸着装置/スパッタ装置 　・太陽電池リサイクル装置 　・FA機器 　・真空コンポーネント 　・洗浄再生/精密部品製作 〇新エネルギー事業 　・再生可能エネルギー由来水素ステーション 　・バイオマス関連装置 〇地域創生事業 　・酒造 　・ゴルフ場

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