株式会社四葉機械製作所 VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

最終更新日：2015-01-06 11:40:11.0
印刷用ページ

独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】
○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で
　運転を実現し、使い易さを追求
○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能
　その他の特殊材質についても対応可能
○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。
○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える
○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC)
○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能）
○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

基本情報VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

■ダウンロードよりカタログの一部がご覧いただけます
　カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ○真空蒸留 ○真空脱気 ○真空管層 ○CVD ○スパッタリング ○エッチング ○真空チャック