アルバック・クライオ株式会社 クライオポンプ CRYO-U 4H

4型の最高性能クライオポンプ

4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。

基本情報クライオポンプ CRYO-U 4H

【特徴】
○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。
○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。
○1台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。
○ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。

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カタログクライオポンプ CRYO-U 4H

取扱企業クライオポンプ CRYO-U 4H

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アルバック・クライオ株式会社

ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界及び大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネントの開発・製造・販売・カスタマーサポ-トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。

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