アルバック・クライオ株式会社 クライオポンプ CRYO-U 4H
- 最終更新日:2017-03-22 13:35:51.0
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4型の最高性能クライオポンプ
4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
基本情報クライオポンプ CRYO-U 4H
【特徴】
○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。
○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。
○1台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。
○ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。
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