アルバック・クライオ株式会社 クライオポンプ CRYO-U8HSP
- 最終更新日:2017-03-22 13:38:28.0
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クラス最高の排気量
スパッタリングプロセス用クライオポンプ
基本情報クライオポンプ CRYO-U8HSP
【特徴】
○アルゴンの排気容量は従来機種(U8H)の約2.5倍
○水素の排気速度は約1.2倍に向上
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