アルバック・クライオ株式会社 クライオポンプ CRYO-U12HSP
- 最終更新日:2017-03-22 13:42:01.0
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クラス最高の排気量
スパッタリングプロセス用クライオポンプ
基本情報クライオポンプ CRYO-U12HSP
【特徴】
○アルゴンの排気容量は従来機種(U12H)の約2倍
○水素の排気容量は従来機種(U12H)の約1.5倍
○再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上、膜質の向上に貢献します。
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価格情報 | - |
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カタログクライオポンプ CRYO-U12HSP
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