高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージジイエムシーヒルストン

シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ

※2024.12.11～13　SEMICON Japan 3Hall #3121ブースで出展・当製品を出展します！

シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。
このXYステージは…
♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動）
♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現
♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ
♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します

基本情報高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

高精度ステップ送り
速度リップルのない等速性に優れた動作
俊敏なセトリングタイム（高速整定）
など、シャフトモーターの特長をパラレル駆動においても実現したステージです

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	半導体製造装置・検査装置・修正装置など…

カタログ高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

取扱企業高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

株式会社ジイエムシーヒルストン

シャフトモーター（シャフト型リニアモーター）の開発・製造・販売。当社が提供するシャフトモーターは、精度の向上を図るお客様には… ●高精度位置決め、 ●高い速度安定性（コギングレス）、 ●高速整定（整定時間が短い）、 ●リニアリティーの高い圧力制御など、 …優れた性能をご活用頂けます。　また、機能的性能向上を図るお客様には… ●静粛性（摩擦がない）、 ●効率的な利用（一軸上に複数の可動スライダーを配置）、 ●パラレル駆動（２軸を同期したように同時駆動を１台のアンプと１式のエンコーダで駆動）などの特色を活かした設計を実現して頂けます。幅広い推力プロファイルのラインアップから、最適なシャフトモーターをお選びください。カスタマイズにも柔軟に対応いたしますので、お気軽にお申し付けください。