株式会社ジイエムシーヒルストン 高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

基本情報高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

高精度ステップ送り
速度リップルのない等速性に優れた動作
俊敏なセトリングタイム（高速整定）
など、シャフトモーターの特長をパラレル駆動においても実現したステージです

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取扱企業高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

株式会社ジイエムシーヒルストン

シャフトモーター（シャフト型リニアモーター）の開発・製造・販売。 当社が提供するシャフトモーターは、精度の向上を図るお客様には… ●高精度位置決め、 ●高い速度安定性（コギングレス）、 ●高速整定（整定時間が短い）、 ●リニアリティーの高い圧力制御など、 …優れた性能をご活用頂けます。　 また、機能的性能向上を図るお客様には… ●静粛性（摩擦がない）、 ●効率的な利用（一軸上に複数の可動スライダーを配置）、 ●パラレル駆動（２軸を同期したように同時駆動を１台のアンプと１式のエンコーダで駆動） などの特色を活かした設計を実現して頂けます。 幅広い推力プロファイルのラインアップから、最適なシャフトモーターをお選びください。 カスタマイズにも柔軟に対応いたしますので、お気軽にお申し付けください。

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