優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、
優れた高速応答性を実現しました。
なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
基本情報電動アクチュエータ EX （精密ステージ） [THK公式］
●シンプルなXY構造
案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。
●すぐれた応答性
クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。
●高剛性XYステージ
XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
●ガタのない連結機構
X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 精密ステージシリーズ EX |
| 用途／実績例 | 詳細はお問合せください |
取扱企業電動アクチュエータ EX （精密ステージ） [THK公式］
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