THK株式会社 電動アクチュエータ CMX (精密ステージ) [THK公式]

画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ(特許取得済)

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX(アライメントステージ)は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。
さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。

なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、2DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。

基本情報電動アクチュエータ CMX (精密ステージ) [THK公式]

●大型ワークに対応
トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。

●超薄形・軽量
XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

●中抜き構造
トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

●高剛性・高精度
モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

価格情報 -
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型番・ブランド名 精密ステージシリーズ CMX
用途/実績例 詳細はお問合せください

取扱企業電動アクチュエータ CMX (精密ステージ) [THK公式]

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