超薄型、高剛性、高精度を実現
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX（小型アライメントステージ）は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。
なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、仕様図・寸法表など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
基本情報電動アクチュエータ CHX （精密ステージ） [THK公式］
●超薄型
予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。
●トップテーブルの小型化
トップテーブルのサイズは縦横ともに、100〜200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。
●中抜き構造の設定可能
トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です（特殊対応）。下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用出来ます。
●結線作業の簡略化
モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 精密ステージシリーズ CHX |
| 用途／実績例 | 詳細はお問合せください |
取扱企業電動アクチュエータ CHX （精密ステージ） [THK公式］
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