株式会社東京興業貿易商会 拡散炉・CVD炉用高温断熱材『断熱リング』
- 最終更新日：2021-06-14 09:42:45.0
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拡散炉・CVD炉用！酸化ホウ素を含有しないアルミナ長繊維を使用した特許製品です
『断熱リング』は、半導体製造工程で使用される拡散炉・CVD炉用高温断熱材です。
外被材及び縫糸は高耐熱性アルミナ長繊維を使用し、長寿命。外被材組成は
Al2O3 72%、SiO2 28%からなり、繊維径は7μmφと細く柔軟性に優れています。
ニチビにしかない高グレード品として、さらに低不純物素材を使用した
先端ニーズ品があります。
【特長】
■外被材及び縫糸は高耐熱性アルミナ長繊維を使用し、長寿命
■酸化ホウ素を含有しないアルミナ長繊維を使用した特許製品
■石英チューブや炭化ケイ素チューブの形状に合わせて縫製加工する
■低不純物素材を使用した先端ニーズ品がある
■外被材組成はAl2O3 72%、SiO2 28%からなり、繊維径は7μmφと
細く柔軟性に優れている
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報拡散炉・CVD炉用高温断熱材『断熱リング』
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造工程で使用される拡散炉 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ拡散炉・CVD炉用高温断熱材『断熱リング』
取扱企業拡散炉・CVD炉用高温断熱材『断熱リング』
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