株式会社大阪真空機器製作所 ルーツ真空ポンプ

基本情報ルーツ真空ポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ
【特徴】
○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる
　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる
○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの
　 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する
○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易
○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ
　 （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応）
○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で
　 圧力コントロールをしたりする事ができる
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取扱企業ルーツ真空ポンプ

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