メンテナンスが容易で、コストを抑えたクリーン空間創りを容易に実現するミニエンバイロメント対応局所クリーン化機器!!
◆装置・ブースに組込み 清浄度確保 海外をはじめ多数の実績があります。
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基本情報クリーンエアユニット
●従来品より小型化・軽量化を実現
●プレフィルタ・HEPAフィルタを標準装備(ULPA他 各種フィルタにも対応可能)
●全閉型ターボファンを採用、耐久性、信頼性抜群(サーマルプロテクタ内蔵で、保安、風の逆流なし)
●フィルタ直付タイプなのでメンテナンスが容易
●アルミ製・ステンレス製・鋼板製の3種類をラインアップ(フィルタ、電源等各種仕様に対応)
価格情報 | - |
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納期 | ~ 1ヶ月 |
型番・ブランド名 | クリーンエアユニット SUM-1000シリーズ |
用途/実績例 | ・露光機、エッチング装置 ・装置後工程の清浄度確保またはクーリング(冷却) ・簡易型ブースに取付 ・精密加工、洗浄工程 ・バイオ、ゲノム実験空間 ・ライン上の局所クリーン化 |