S-LABOシリーズに最適！高いガス純度保持力をもつ流量計 『S-LABO流量計』は、S-LABOシリーズに合わせて使いやすく設計した流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てているので、ガスの純度保持に優れております。 さらに、バルブにはガスの純度保持に優れているフッ素系グリスを使用しています。 【特長】 ■接ガス部金属は真鍮とステンレスの2種類をご用意 ■クリーンルーム内で洗浄組み立て ■バルブにはガスの純度保持に優れたフッ素系グリスを使用 ■オプションでヘリウムリークテストを実施 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

高精度高安定センサー採用！新設計デジタルモジュールシステム！ 『2150断面流速流量モジュール』は、デジタルテクノロジーにより、 高精度・高安定・長寿命を実現した流量計です。 センサー内で全ての測定データをデジタル化し、 本体は外部ノイズの影響を受けないデジタルデータで本体と通信します。 また、センサー内に温度センサーを備え、 予め工場にて複数温度・複数水位のテーブルをインプットしているため 温度による誤差が大きく低減されます。 【特長】 ■新設計流速センサー採用 ■高精度測定センサー採用 ■長期安定性センサー搭載 ■大容量メモリー搭載 ■バッテリー低下時にデータ間隔の調整可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自動制御。 ■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機器との接続に便利な各種レベルの入出力信号の供給が可能。プロセス制御に応用できる。