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フィルジェン株式会社
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薄膜関連装置(薄膜製膜前処理基板
洗浄
装置、薄膜作製装置、薄膜評価装置)の開発、製造、販売。バイオ関連分析受託。
研究・開発用機器・装置
愛知県 名古屋市緑区
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