フィルジェン株式会社

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薄膜関連装置（薄膜製膜前処理基板洗浄装置、薄膜作製装置、薄膜評価装置）の開発、製造、販売。バイオ関連分析受託。

• 研究・開発用機器・装置
• 愛知県 名古屋市緑区