【測定事例集】赤外分光分析(ナノスケール空間分解能)

多層膜組成分析をはじめ粘着剤上の異物分析などの測定事例を多数ご紹介しま…

当資料は、株式会社日本サーマル・コンサルティングが行っている 『赤外分光分析(ナノスケール空間分解能)』の受託測定のご案内を まとめた測定事例集です。 断面から...の同定が可能な「多層膜組成分析」や、サブミクロンサイズの 異物分析が可能な「ガラス基板上のウォーターマークの組成分析」など、 様々な測定事例を図表を用いて詳しく掲載しております。 ぜひご一読...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本サーマル・コンサルティング

【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価

異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能

す。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、この異物はパーティクルというよりはむしろ、ウォーターマーク状の洗浄残渣であると推定されます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウォーターマーク原因調査

TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所（変色・付着）が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウォーターマークの無機・有機同時評価

微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定

TOF-SIMSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST