半導体業界向け特殊セラミック部品＜カタログ無料進呈中＞

エッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…

、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向け、検査用ダミーウエハ向けの他、 　エッチング工程向け、CVD工程向けをご用意 ■イットリアは、φ330までの焼結材部品を提供可能。 　溶射したときは気孔率1％以下を実現できます ※詳しくは、PDFダウンロードよりカタログをご覧く...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社