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卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置
Arradiance社製卓上型ALD装置 卓上型ながらプラズマユニット…
テーブルトップのコンパクトサイズALD装置ながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。プラズマユニットを装備したPEALD装置もございます。 直径200mm、高さ25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ(CNT)やグラフェンにも成膜可能。 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuの金属の成膜も対応。 4系統のマスフロー制御プラズマ・ガス入力を備えた300W空冷ダイレクトICPプラズマヘッド 最...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイチ・ティー・エル HTL(エイチティーエル)
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