多層膜スパッタリング装置『S600』

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ…

装着可能 ■3～6インチ基板処理に対応(多品種混流生産にも対応) ■偏芯回転磁石による大口径ワイドエロージョンで、高精度な膜厚均一性と 　ターゲットの長寿命化を実現 ■磁場設計は当社がシミュレーションにて設計し、お客様のご要望に最大限対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社