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【プロセス分析計 技術資料】CMT工程の過酸化水素を全自動で測定
プロセス分析計 / オンライン分析計でCMT工程における過酸化水素の濃…
ケミカル・メカニカル・ポリシャ«CMP»は、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。 一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、および過酸化水素(...
メーカー・取り扱い企業: メトロームジャパン株式会社 本社
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