超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVA10シリーズ』

負圧制御、低蒸気圧用機種！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク…

『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』

出荷検査を全数に実施！タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器の…

供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても 対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部