マイクロ波ダイヤモンド成膜装置『MDD-2016』

安定な高密度プ ラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成するマイ…

『MDD-2016』は、高出力（最大5kW）のマイクロ波電源および自動整合器（4Eチューナ） により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できる装置です。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。マイクロ波電源はマグネトロン発振（ 連続波、パルス波、高安定スペクトル）およびソリッドステート発振など、当社電源ラインアップからお選び頂け...

メーカー・取り扱い企業： 日本高周波株式会社