光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム 検出困難だったイオンミリングプロ…

く、 検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。 さらに、真空フィードスルーオプションで イオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは 真空中のサンプル近傍にフレキシブルチューブによる測定受光部を設置。 エッチング/ミリングプロセス中の材料発光を計測することで、 膜厚と膜種の経時変化を取得します。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社