『X・Y・θアライメントステージ』

3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造…

『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動 アクチュエータ“ミリオンアクチュエータ”を採用することで高精度送りを 実現した製品です。 テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。 高剛性と低振動の両立を実現しました。 【特長】 ■高精度 ■高剛性 ■超薄型・シンプル構造 ・テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社